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【鈣鈦礦裝備】激光劃線設備及其在鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)過程中的應用

發(fā)布時間:2024-11-25 來源:元祿光電公眾號

激光劃線設備是鈣鈦礦太陽能電池制備的關鍵設備。它利用激光高能量、高精度的特點,在鈣鈦礦電池各層進行精確劃線,實現(xiàn)子電池劃分與串聯(lián)。該設備具有劃線精度高、速度快、熱影響小等優(yōu)點,助力提升鈣鈦礦電池性能與生產(chǎn)效率。

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目錄

1、激光劃線設備工作原理

2、結構組成

3、制備鈣鈦礦電池中的作用

4、激光工藝要求與配置

5、關鍵技術指標

6、技術挑戰(zhàn)

工作原理


激光劃線設備的工作原理是利用激光束的高能量密度,在材料表面進行劃線加工。


具體來說,激光劃線設備通常由激光器、光學系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和工作臺等組成。激光器產(chǎn)生高能量的激光束,通過光學系統(tǒng)聚焦到材料表面1??刂葡到y(tǒng)精確控制激光束的掃描路徑和參數(shù),如激光功率、掃描速度、掃描間距等。工作臺則用于承載和移動材料,以實現(xiàn)對整個材料表面的劃線加工。


在劃線過程中,激光束的高能量密度會使材料表面局部瞬間升溫并蒸發(fā)或熔化,從而形成一條清晰的劃線。通過控制激光束的掃描路徑和參數(shù),可以實現(xiàn)不同形狀和尺寸的劃線圖案。


結構組成


1、激光器:

作用:是激光劃線設備的核心部件,產(chǎn)生高能量的激光束,為劃線提供能量來源。不同類型的激光器,如二氧化碳激光器、光纖激光器、半導體激光器等,在功率、波長、光束質量等方面有所差異,可根據(jù)具體的劃線需求進行選擇。例如,在對一些高硬度材料進行劃線時,可能需要高功率的激光器;對于精細劃線作業(yè),就需要光束質量好的激光器。


組成部分:包括激光二極管、發(fā)光晶體等元件,有的激光器還配備有高溫保護裝置等輔助部件,以確保激光器在工作過程中的穩(wěn)定性和可靠性。


2、光學系統(tǒng):

透鏡組合:用于對激光器發(fā)出的激光進行聚焦、準直等處理,使激光束能夠以合適的形狀、尺寸和能量分布作用于待劃線材料表面。例如,通過透鏡組合可以將激光束聚焦成一個微小的光點,以實現(xiàn)高精度的劃線;或者將激光束擴束,使其覆蓋更大的劃線區(qū)域。


反射鏡:可以改變激光的傳播方向,使激光能夠按照設計的光路傳輸?shù)絼澗€位置。反射鏡通常具有高反射率和良好的光學性能,能夠保證激光在傳輸過程中的能量損失最小化。在一些復雜的激光劃線設備中,可能會使用多個反射鏡來實現(xiàn)激光的多次反射和轉向,以滿足不同的劃線需求。


振鏡:一種可以快速改變激光束傳播方向的光學元件,通常由兩個相互垂直的反射鏡和驅動電機組成。通過控制驅動電機的轉動,可以使振鏡反射鏡快速旋轉,從而使激光束在二維平面內(nèi)快速掃描,實現(xiàn)復雜的劃線圖案或對大面積的材料進行快速劃線。


擴束鏡:位于激光器和后續(xù)光學元件之間,用于擴大激光束的直徑,減小激光束的發(fā)散角,提高激光的能量密度和穩(wěn)定性。擴束鏡的擴束比例可以根據(jù)實際需要進行選擇,常見的擴束比例有 2X、5X、10X 等。


3、控制系統(tǒng):

控制器:是激光劃線設備的大腦,負責對整個設備的運行進行控制和管理??刂破骺梢越邮諄碜愿鞣N傳感器和輸入設備的信號,如位置傳感器、速度傳感器、操作面板等,并根據(jù)預設的程序和參數(shù),發(fā)出控制指令,控制激光器的開關、功率調節(jié)、光學系統(tǒng)的動作、工作臺的移動等。常見的控制器有 PLC(可編程邏輯控制器)、工業(yè)計算機等。


驅動系統(tǒng):根據(jù)控制器的指令,驅動各個運動部件,如工作臺的移動、振鏡的轉動等。驅動系統(tǒng)通常由電機、驅動器、傳動裝置等組成。電機可以是步進電機、伺服電機等,具有高精度、高速度、高可靠性等特點;驅動器用于控制電機的轉速、轉向和位置;傳動裝置可以是絲桿、皮帶、鏈條等,將電機的旋轉運動轉化為工作臺或其他部件的直線運動或旋轉運動。


4、工作臺:

作用:用于承載和固定待劃線的材料,使其在劃線過程中保持穩(wěn)定。工作臺的精度和穩(wěn)定性對劃線的質量和精度有著重要的影響。


結構形式:工作臺的結構形式多種多樣,常見的有平面工作臺、旋轉工作臺等。平面工作臺適用于對平面材料進行劃線;旋轉工作臺則適用于對圓形或圓柱形材料進行劃線,通過旋轉工作臺的轉動,可以實現(xiàn)對材料的圓周劃線。


5、輔助系統(tǒng):

冷卻系統(tǒng):激光器在工作過程中會產(chǎn)生大量的熱量,如果不及時冷卻,會影響激光器的性能和壽命。冷卻系統(tǒng)通常采用水冷或風冷的方式,對激光器進行冷卻。水冷系統(tǒng)具有冷卻效果好、穩(wěn)定性高的優(yōu)點,但需要配備專門的水冷設備和管道;風冷系統(tǒng)則結構簡單、維護方便,但冷卻效果相對較差。


吸塵系統(tǒng):激光劃線過程中會產(chǎn)生一些煙塵和碎屑,如果不及時清除,會影響劃線的質量和設備的正常運行。吸塵系統(tǒng)通常由吸塵器、吸塵管道、吸塵罩等組成,可以將劃線過程中產(chǎn)生的煙塵和碎屑吸入吸塵器中,保持工作環(huán)境的清潔。


傳感器系統(tǒng):包括位置傳感器、速度傳感器、溫度傳感器等,用于實時監(jiān)測設備的運行狀態(tài)和工作參數(shù),如工作臺的位置、激光束的功率、設備的溫度等,并將監(jiān)測到的信息反饋給控制器,以便控制器及時調整設備的運行狀態(tài),保證劃線的質量和精度。


制備鈣鈦礦電池中的作用

每道激光具體作用如下所示:

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1、圖案化電極和功能層

P1 劃線(前電極劃分)在鈣鈦礦太陽能電池制備中,首先需要對前電極進行圖案化處理。激光劃線設備能夠精準地在前電極層(如透明導電氧化物電極)上進行 P1 劃線,將大面積的前電極劃分成多個獨立的子電極。這一步驟對于后續(xù)串聯(lián)多個子電池形成具有更高電壓輸出的電池模塊至關重要。例如,通過精確控制激光的能量和掃描路徑,可以將前電極劃分成寬度均勻的子電極區(qū)域,寬度通常在幾毫米左右,這種精細的劃分有助于提高電池模塊的電學性能。


P2 劃線(中間層處理):激光用于 P2 劃線主要是對電池的中間層進行操作。它能夠在不損壞下層前電極和上層其他功能層的情況下,精確地對中間層進行局部去除或改性。這有助于減少中間層與其他層之間可能出現(xiàn)的短路問題,并且可以優(yōu)化中間層與前后電極之間的電荷傳輸路徑,提高電池的光電轉換效率。


P3 劃線(后電極劃分):在電池的后電極層也需要進行 P3 劃線。激光劃線設備能夠有效地去除后電極層的特定區(qū)域,從而劃分出獨立的電池單元,同時保證后電極與中間層和前電極之間的良好電學連接,使每個子電池能夠正常工作并且實現(xiàn)串聯(lián)連接,提高整個電池模塊的輸出電壓。


2、提高電池模塊集成度

串聯(lián)電池單元:通過激光劃線設備進行的多次劃線(P1 - P3),可以將多個鈣鈦礦太陽能電池單元有效地串聯(lián)起來。這種串聯(lián)方式能夠增加電池模塊的輸出電壓,使得鈣鈦礦太陽能電池能夠更好地滿足實際應用中的電壓需求。例如,在光伏建筑一體化(BIPV)等應用場景中,需要電池模塊提供較高的電壓來適配建筑電氣系統(tǒng),激光劃線實現(xiàn)的串聯(lián)結構就能夠很好地滿足這一需求。


優(yōu)化電池布局:激光劃線還可以用于優(yōu)化電池模塊內(nèi)電池單元的布局。根據(jù)實際應用的需求,如不同的形狀、尺寸和功率要求,利用激光劃線設備可以靈活地調整電池單元的大小和排列方式。這有助于在有限的空間內(nèi)集成更多的電池單元,提高電池模塊的功率密度,從而在相同的面積上獲取更多的電能。


3、提升電池性能和穩(wěn)定性

減少載流子復合:精確的激光劃線能夠優(yōu)化電池各層之間的界面。在劃線過程中,通過控制激光能量和劃線精度,可以使各層之間的接觸更加緊密和純凈,減少界面處的缺陷和雜質。這有助于減少載流子在界面處的復合,使得更多的光生載流子能夠有效地傳輸?shù)诫姌O,從而提高電池的短路電流和光電轉換效率。


邊緣絕緣處理(P4 清邊):在鈣鈦礦太陽能電池制備過程中,激光劃線設備還用于 P4 清邊操作。將靠近玻璃邊緣約 10mm 寬度的膜層清除,形成絕緣區(qū)域。這一操作可以有效防止電池邊緣部分出現(xiàn)漏電現(xiàn)象,提高電池的穩(wěn)定性和安全性。尤其是在長期戶外使用的情況下,能夠避免因邊緣漏電導致的電池性能下降和安全隱患。


激光工藝要求與配置



01 激光P1

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1、劃線后P1兩側的電阻大于20MΩ,劃線線槽內(nèi)無TCO材料殘留,同時不傷及TCO下方的玻璃基底

2、寬度20±5um,單側熱影響區(qū)域不超過5um

3、劃線深度600-800nm(常規(guī)玻璃厚度3.2mm)

4、P1線間距4-10mm可調,可調精度0.01mm5、線間距誤差±10um6、DOE或機械分光光束≥8束,一般采用紅納激光器。


02  激光P2

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P2需要劃掉鈣鈦礦層和兩個電荷傳輸層,要求刻線內(nèi)無殘留物質,刻線邊緣與刻線內(nèi)部劃線效果一致。


刻線寬度邊緣不得出現(xiàn)“火山口現(xiàn)象”,即不能在劃線線兩側形成被劃線膜層的凸起或薄膜分層,也不能傷到ITO透明導電層。


同時因為要劃線的鈣鈦礦層對熱敏感,如劃線過程中產(chǎn)生太多熱量,會導致臨近刻線區(qū)域的鈣鈦礦層的分解退化。


1、劃線后表面除TCO外無殘留

2、線寬50±5um,單側熱影響區(qū)域不超過5um

3、劃線深度400-700nm

4、線間距4-10mm可調,可調精度0.01mm

5、線間距誤差±10um

6、DOE或機械分光光束≥8束

7、大理石平臺+氣浮臺

一般采用綠皮激光器。


03  激光P3

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P3需要劃掉鈣鈦礦層、兩個電荷傳輸層和背電極層,要求刻線內(nèi)無殘留物質,刻線邊緣與刻線內(nèi)部劃線效果一致??叹€寬度邊緣不得出現(xiàn)“火山口現(xiàn)象”。

1、劃線后表面除TCO外無殘留

2、線寬50±5um,單側熱影響區(qū)域不超過5um

3、劃線深度500-800nm

4、線間距4-10mm可調,可調精度0.01mm

5、線間距誤差±10um

6、DOE或機械分光光束≥8束

7、大理石平臺+氣浮臺,一般采用綠皮激光器。


04  激光P4

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P4絕緣線需要劃掉玻璃表面所有膜層,要求刻線內(nèi)無殘留物質,刻線邊緣與刻線內(nèi)部劃線效果一致??叹€寬度邊緣不得出現(xiàn)“火山口現(xiàn)象”。

1、絕緣劃線后表面無任何殘留

2、絕緣線寬50±5um,單側熱影響區(qū)域不超過5um

3、絕緣劃線深度1100-1500nm

4、絕緣線兩側絕緣電阻>20MΩ5、清邊區(qū)域要求絕緣電阻>2GΩ6、清邊過程對玻璃基底不造成損傷,不影響玻璃機械強度一般絕緣采用低功率紅納激光器,清邊采用高功率紅納激光器。


以下為激光器配置:

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關鍵技術指標


1、劃線精度:

線寬精度:要求能夠精確控制劃線的寬度,線寬的誤差需要盡可能小。一般來說,線寬精度應達到微米級別,例如在 10 微米左右甚至更高精度,這樣才能保證鈣鈦礦電池各功能層的準確劃分和子電池的良好性能。如果線寬精度不夠,可能會導致電池內(nèi)部的短路或斷路等問題,影響電池的效率和穩(wěn)定性。


位置精度:確保劃線的位置準確無誤,這對于鈣鈦礦電池中各子電池的串聯(lián)以及電流的導通非常重要。位置精度通常也需要達到微米級別,例如重復定位精度可控制在 ±10 微米以內(nèi),以保證每次劃線的位置與設計要求高度一致。


2、劃線速度:

較高的劃線速度可以提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本。對于大規(guī)模生產(chǎn)的鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)線,激光劃線設備的劃線速度是一個關鍵指標。一般來說,劃線速度應達到每秒數(shù)米甚至更高,比如有的設備可以實現(xiàn) 2.5 米 / 秒的高速加工效果。


3、死區(qū)寬度:

在鈣鈦礦太陽能電池中,激光劃線后的死區(qū)是指從 p1 線最外側到 p3 線最外側的不能發(fā)電的區(qū)域。死區(qū)寬度越小,電池的有效發(fā)電面積越大,電池組件的發(fā)電效率越高。因此,死區(qū)寬度是衡量激光劃線設備性能的重要指標之一,一般需要將死區(qū)寬度控制在盡可能小的范圍內(nèi),如有的設備能夠將死區(qū)寬度穩(wěn)定控制在 150 微米以內(nèi)。


4、熱影響區(qū):

由于鈣鈦礦材料對溫度比較敏感,激光劃線過程中產(chǎn)生的熱量可能會對鈣鈦礦層的性能產(chǎn)生影響。因此,需要控制激光劃線的熱影響區(qū),使其盡可能小。通常要求熱影響區(qū)在 2 微米以內(nèi),甚至有的設備可以將熱影響區(qū)控制在 1 微米以內(nèi),以保證鈣鈦礦電池的性能不受激光劃線過程的影響。


5、激光器性能:

激光功率:激光功率需要根據(jù)鈣鈦礦電池的材料特性和劃線要求進行精確調節(jié)。功率過高可能會損壞電池材料,功率過低則可能無法實現(xiàn)有效的劃線。例如,對于不同厚度的鈣鈦礦薄膜,需要選擇合適的激光功率來保證劃線的質量和深度。


激光脈沖寬度:激光的脈沖寬度也會影響劃線的效果。較短的脈沖寬度可以減少對材料的熱影響,提高劃線的精度和質量。常見的有納秒、皮秒、飛秒等不同脈沖寬度的激光器,在鈣鈦礦太陽能電池激光劃線設備中,可能會根據(jù)具體需求選擇合適的脈沖寬度。


6、設備穩(wěn)定性和可靠性:

在大規(guī)模生產(chǎn)過程中,激光劃線設備需要長時間穩(wěn)定運行,因此設備的穩(wěn)定性和可靠性非常重要。這包括設備的機械結構穩(wěn)定性、光學系統(tǒng)的穩(wěn)定性、控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性等方面。設備應能夠在長時間運行過程中保持劃線精度和速度的穩(wěn)定性,同時具有較低的故障率和較長的使用壽命。


7、加工幅面:

根據(jù)鈣鈦礦太陽能電池的生產(chǎn)需求,激光劃線設備需要具備足夠大的加工幅面,以滿足不同尺寸電池組件的劃線要求。例如,有的設備可以加工 1.2 米 ×2.4 米的超大尺寸鈣鈦礦太陽能電池組件。


優(yōu)化參數(shù)的具體案例

1、劃線精度控制:

微米級精度要求:鈣鈦礦太陽能電池結構精細,對劃線精度要求極高,通常需要達到微米級別。例如,線寬精度要控制在幾微米甚至更高的精度范圍內(nèi),以保證各功能層的準確劃分和子電池的良好性能。如果線寬偏差過大,可能會導致電池內(nèi)部短路或斷路,影響電池的光電轉換效率和穩(wěn)定性。


位置精度挑戰(zhàn):在大面積的鈣鈦礦電池組件上,確保劃線的位置精度準確無誤也是一個難點。各道劃線(如 P1、P2、P3 劃線)的位置需要嚴格按照設計要求進行,否則會影響子電池的串聯(lián)效果和電池模塊的整體性能。并且,在高速劃線過程中保持位置精度的穩(wěn)定性也是一大挑戰(zhàn)。


2、熱影響控制:

材料熱損傷:鈣鈦礦材料對溫度敏感,激光劃線過程中產(chǎn)生的熱量可能會導致鈣鈦礦層的性能受損1。過高的溫度會使鈣鈦礦材料發(fā)生分解、相變或產(chǎn)生缺陷,從而降低電池的光電轉換效率。因此,需要精確控制激光的能量和作用時間,以減小熱影響區(qū)的范圍和程度2。


熱應力問題:激光劃線產(chǎn)生的局部高溫會在鈣鈦礦薄膜中產(chǎn)生熱應力,可能導致薄膜出現(xiàn)裂紋、變形等問題,影響電池的結構完整性和性能。如何在劃線過程中有效地釋放熱應力,是需要解決的技術難題。


3、死區(qū)寬度減小:

死區(qū)是指激光劃線后的從 P1 線最外側到 P3 線最外側的不能發(fā)電的區(qū)域。死區(qū)寬度越大,電池中發(fā)電無效區(qū)占比越大,子電池的效率也就越低。在鈣鈦礦生產(chǎn)中,需要盡可能減小死區(qū)寬度,以提高電池的有效發(fā)電面積和整體效率。這就要求激光劃線設備具有高精度的控制能力和穩(wěn)定的加工性能,同時還需要優(yōu)化電池的設計和劃線工藝。


4、大尺寸組件加工:

大面積均勻性:隨著鈣鈦礦太陽能電池技術的發(fā)展,對大尺寸組件的需求日益增加。在大尺寸組件上進行激光劃線,要保證劃線的均勻性和一致性是非常困難的。例如,在平米級的組件上,激光能量的分布、掃描速度的均勻性等因素都會影響劃線的質量,需要開發(fā)先進的激光掃描技術和能量控制系統(tǒng)。


對焦難度增加:大尺寸組件的表面平整度往往較低,這使得激光對焦變得更加困難。激光焦點的穩(wěn)定性和準確性對于劃線質量至關重要,需要采用高精度的焦點控制系統(tǒng)來適應大尺寸組件的加工需求,確保在整個加工過程中激光能夠始終聚焦在正確的位置。


5、設備穩(wěn)定性和可靠性:

長時間連續(xù)運行:鈣鈦礦太陽能電池的生產(chǎn)通常是大規(guī)模、連續(xù)化的過程,激光劃線設備需要長時間穩(wěn)定運行。這就對設備的機械結構、光學系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等各個部件的穩(wěn)定性和可靠性提出了很高的要求。例如,激光器的壽命、光學元件的抗磨損性、控制系統(tǒng)的抗干擾能力等都需要經(jīng)過嚴格的測試和驗證。


工藝兼容性:激光劃線設備需要與鈣鈦礦電池的其他生產(chǎn)工藝(如鍍膜、封裝等)相兼容,確保整個生產(chǎn)流程的順暢進行。這就要求設備的設計和參數(shù)設置能夠與前后道工藝的要求相匹配,避免因工藝不兼容而導致的生產(chǎn)效率降低或產(chǎn)品質量問題。


6、激光參數(shù)優(yōu)化:

激光功率選擇:激光功率的選擇需要根據(jù)鈣鈦礦材料的特性、薄膜厚度、劃線速度等因素進行精確調整。功率過高會導致材料過度損傷,功率過低則無法實現(xiàn)有效的劃線。因此,需要建立準確的激光功率與材料加工效果之間的關系模型,以便快速、準確地選擇合適的激光功率參數(shù)2。


脈沖寬度和頻率:激光的脈沖寬度和頻率也會影響劃線的質量和效果。不同的鈣鈦礦材料和結構可能需要不同的脈沖寬度和頻率參數(shù),以實現(xiàn)最佳的劃線效果。因此,需要對激光的脈沖參數(shù)進行深入研究和優(yōu)化,以滿足鈣鈦礦生產(chǎn)的需求。


文章來源:“鈣鈦礦學習與交流”公眾號

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